Darminto, Sri Yani Purwaningsih : Pengaruh Annealing pada Lapisan Tipis ZnO sebagai Bahan Sensor Gas terhadap Sensitivitas Gas CO

Prof. Dr. Drs. Darminto M.Sc
Sri Yani Purwaningsih S.Si., M.Si.

Year

2008

Published in

-

External link

-

Type

Jurnal Nasional Terakreditasi

Keywords

-


Abstract

Telah dilakukan penelitian tentang pengaruh annealing pada lapisan tipis ZnO sebagai bahan sensor gas terhadap sensitivitas gas CO. Penelitian diawali dengan pendeposisian lapisan tipis ZnO pada substrat alumina menggunakan teknik DC-Sputtering, dilanjutkan dengan variasi suhu anil pada lapisan tipis ZnO yang terbentuk. Hasil eksperimen menunjukkan bahwa lapisan tipis ZnO yang dideposisi 120 menit dan dianil pada suhu 900 °C mempunyai resistansi terkecil 980 kΩ dan sensitivitas optimum 45,77 % untuk mendeteksi gas CO pada konsentrasi 57 ppm. Berdasarkan analisis orientasi kristal menggunakan XRD menunjukkan bahwa perlakuan anil pada lapisan tipis ZnO meningkatkan intensitas puncak-puncak bidang (100), (002), dan (101). Hasil analisis struktur mikro menggunakan SEM menunjukkan bahwa peningkatan suhu anil menyebabkan morfologi permukaan lapisan tipis ZnO menjadi lebih rapat dan homogen. Hasil analisis komposisi unsur dengan EDS, untuk lapisan tipis ZnO yang dianil pada suhu 900 °C adalah 75,59 % atom Zn dan 24,21 % atom O.